CAS: 152248-67-4; Oxobis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Titanium(Iv)

该化合物是一种以钛为主的协调化合物,其主要优点包括高热稳定性和高挥发性,使之适合化学蒸气沉降和原子层沉降(ALD)应用;四甲基乙烷离心机(2,2,6,6,6-四甲基-三甲基-三甲基-七甲基-三甲基-三氟三氟三硝基苯-KO3,kO5),该化合物在半导体的薄膜制造和光学涂层中特别有价值,因为其一贯的分解行为和低杂化性集成;其定义明确的分子结构确保高精度沉积沉积过程中的再生性能.

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