CAS: 152248-67-4; Oxobis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Titanium(Iv)
该化合物是一种以钛为主的协调化合物,其主要优点包括高热稳定性和高挥发性,使之适合化学蒸气沉降和原子层沉降(ALD)应用;四甲基乙烷离心机(2,2,6,6,6-四甲基-三甲基-三甲基-七甲基-三甲基-三氟三氟三硝基苯-KO3,kO5),该化合物在半导体的薄膜制造和光学涂层中特别有价值,因为其一贯的分解行为和低杂化性集成;其定义明确的分子结构确保高精度沉积沉积过程中的再生性能.
- 英文名称Oxobis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Titanium(Iv)
- 中文名称双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)氧化钛
- IUPAC名称bis((Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one);titanium;hydrate
- 其它别名(Z)-5-Hydroxy-2,2,6,6-Tetramethylhept-4-En-3-One; Oxotitanium ; Oxobis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5 Heptanedionato)Titanium(Iv) ; Titanium Oxide Bis(Tetramethylheptanedianoate) ; Oxobis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Titan
- CAS编号152248-67-4
- MFCD编号:MFCD01320917
- EINECS号:695-601-3
- 分子式:C22H40O5Ti分子量:432.42
- 产品CID: 745996
- 产品分类有机原料 → 有机金属类化合物 → 有机钛
欧盟法规
C&L通报海关参考信息
- 2901210000-乙烯
2901220000-丙烯
2905121000-正丙醇
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