二氯硅烷 以100%的收率获得产物硅烷
参考文献:通过热丝氢化进行有效的缺陷钝化
标题:通过热丝氢化进行有效的缺陷钝化
摘要:由热丝产生的原子氢可钝化多晶硅中的体缺陷,而不会损坏表面区域.与低能离子注入或直流等离子体处理相比,由这种多晶硅制成的太阳能电池对热丝氢化反应更有利.热线钝化产生接近 8x1019 Cm-3 表面的氢浓度,并将太阳能电池的少数载流子扩散长度提高了 100%.注入以及传统的等离子体处理导致较低的氢浓度,因此,扩散长度的改善幅度要小得多.
DOI:10.1063/1.119371