CAS: 38625-54-6; Tris(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Ruthenium

该化合物是一个基于的合成协调综合体,由β-狄科托纳(Igand), 2,2,6,6,6-四甲基-3,5-七-七基(tmhd)组成.该复合体因其高热稳定性和高挥发性而引人注目,因此适合于含薄膜的化学蒸气沉降(CVD)和原子层沉积(ALD)等应用.该复合体受到阻碍,在温度升高时可增强化合物对分解的抗药性,确保前体的性能一致.其定义明确的分子结构和有机溶剂中的溶解性进一步促进了受控沉积过程.这一复合体在半导体和催化研究中特别有用,因为需要精确的混合物.

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CAS号1118-71-4 2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮 | CAS号10049-08-8 三氯化钌 | CAS号7440-18-8 钌

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    合成方法参考DOI号:10.1246/cl.1984.437
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