CAS: 20219-33-4; Tantalum(V) Tetraethoxide 2,4-Pentanedionate

该化合物是一种金属有机化合物,用作化学蒸气沉降(CVD)和溶胶工艺的前体,用于存放钽氧化物薄膜,其混合结构,结合了乙氧和五硝酸酯组,增加了挥发性和热稳定性,促进了受控胶片的形成,该化合物因其高纯度和反应性而特别受重视,适合半导体制造,光学涂层和电极的先进应用,其定制的分解行为确保了统一的胶片沉积,且不易发性极小,建议由于对湿度和空气的敏感性,在惰性条件下进行适当的处理.

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