CAS: 85959-83-7; Hafnium(4+),1,2,3,5,5-Pentamethylcyclopenta-1,3-Diene,Dichloride

该化合物是一种有机金属化合物,由两组五甲基环戊二烯基(Cp)和两组氯化物协调,其中含有一个中心,该复合物因其高热稳定性和定义明确的协调几何而引人注目,使它在含薄膜的金属-有机化学蒸气沉降(MOCVD)和原子层沉积(ALD)过程中成为有价值的前体,其坚固的Cpligands提高了有机溶剂的溶解性,便利了沉积应用的精确控制,该化合物在半导体和高级材料研究中特别有用,因为电应用需要统一,高纯度的氧化亚氮层,在加工条件下的连续再活性和稳定性有助于薄膜制造的可靠性能.

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n-butyllithium 1,2,3,4,5-pentamethylcyclopentadiene hafnium tetrachloride pentamethylcyclopentadienyllithium(η-C5Me5)2Hf(Cl)(PH(c-C6H11)) (η5-C5Me5)2Hf(NH(2,4,6-Me3C6H2))2 (η5-C5Me5)2Hf(CH2C6H5)2 5(CH3)5)2Hf(Si(C6H5)3)Cl(C5(CH3)5)2Hf(Si(C6H5)3)Cl

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