CAS: 14592-80-4; Chromium (Iii) Hexafluoroacetylacetonate

该化合物是一种高度稳定和挥发性的协调化合物,主要用于化学蒸气沉降和原子层沉积过程,其主要优点包括极好的热稳定性,一致蒸汽压力和高纯度,使其成为将含铬薄膜存放在半导体和光学涂层中的理想前体.氟离子在保持低分解温度的同时,增加其挥发性,确保以极低的杂质高效制成胶片.这一化合物因其可再生性和与先进的沉积技术相容而特别受到重视,对影片的构成和高性能应用中的形态进行精确控制.

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