CAS: 19782-68-4; Tetrakis(Dimethylamido)Hafnium(Iv),

该化合物是Hf(N(CH))公式的有机金属化合物.其特点是将四种二甲基硫化物对准中央原子加以协调,这种物质处于+4氧化状态,这种化合物一般无色,不光黄色液体或固体,视其形态和纯度而定;它以其挥发性而著称,经常被用作氧化亚薄膜化学蒸气沉降(CVD)过程的前体,这在半导体制造和其他先进材料应用中非常重要;Tetrakis(二甲基胺) habium(IV)对湿气和空气敏感,需要在惰性条件下进行谨慎处理,以防止水解和氧化;它的热稳定性使其在温度升高时解腐蚀,释放了和含氮的副产品;由于其有机金属性质,它与传统的化合物相比,具有独特的再活动性和特性,使其在材料科学和纳米技术中具有价值.

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C&L通报

合成工艺路线路线简述

    海关参考信息

    专利信息


    专利号:US-8859785-B2
    优先权日:2009-05-29
    标 题 :Volatile group 2 metal precursors
    发明人:NORMAN JOHN ANTHONY THOMAS
    权利人:NORMAN JOHN ANTHONY THOMAS; AIR PROD & CHEM
    摘要:A compound comprising one or more polyfunctionalized pyrrolyl anions coordinated to a metal selected from the group consisting of barium, strontium, magnesium, radium or calcium or mixtures thereof. Alternatively, one anion can be substituted with and a second non-pyrrolyl anion. n Synthesis of the novel compounds and their use to form BST films is also contemplated.

    专利号:KR-20200113238-A
    优先权日:2018-01-22
    标题:Large-scale synthesis of 2D semiconductors by epitaxial phase transition
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    成立日期:2019-07-31登记机关:武汉市江岸区市场监督管理局
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    四(二甲胺基)铪(IV)
    TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)
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    摘要:Chand, K.; Umesh; Dorairaj, D. P.; Hsu, S. C. N., Science of Synthesis Knowledge Updates, (2021) 2, 271.
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