📜Yttrium Acetate,2-乙基-己酸稀土盐 以to Produce Yttrium Tri(2-Ethylhexanoate) In 2-Ethylhexanoic Acid的收率获得2-乙基己酸钇
参考文献:Barrier Layer Arrangement For Conductive Layers On Silicon Substrates
标题:Barrier Layer Arrangement For Conductive Layers On Silicon Substrates
摘要:本发明揭示了一种用于保护硅衬底和上层导电层不互相污染的屏障层三元组,以及其制备方法.该屏障层三元组由三个层组成,第一个三元组层位于硅衬底旁边,主要由二氧化硅组成;第三个三元组层远离硅衬底,主要由至少一种第四族重金属氧化物组成;第二个三元组层位于第一个和第三个三元组层之间,主要由二氧化硅和至少一种第四族重金属氧化物的混合物组成.