CAS: 107761-81-9; 5-((2,3-Dihydroxy-4-(4-Hydroxybenzoyl)Phenoxy)Sulfonyl)-1-Hydroxynaphthalene-2-Diazonium

该化合物是一种高性能光阻力光化复合物,广泛用于半导体和微电子制造的光阻力配方,其主要优点包括光敏度极强,分辨率高,热稳定性高,适合先进的岩造工艺.该化合物的多氢氧结构增强了普通抗药溶剂的溶解性,而环球抗药共聚体组则确保紫外线接触时有效的光化学反应.这导致精确的形态形成,且有最小的缺陷.此外,其磺酸组改进了与水开发商的兼容性,有利于环境友好处理.该化合物在制作精细特征,满足高密度集电路和MEMS应用的严格行业要求方面,其可靠性受到重视.

结构式图片

欧盟法规

C&L通报

合成工艺路线路线简述

    海关参考信息

    • 2904100000-仅含磺基的衍生物及其盐和乙酯
      2905199090-其他饱和一元醇
      2905399099-其他二元醇
      2905499000-其他多元醇
      2905590090-其他无环醇的卤化、磺化等衍生物
    • 💡 提示:海关信息按照顺序优先匹配,如需确认的海关信息,请参考相关资料。
    • 详情请参考:📖 海关编码查询和海关进出口税则

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