📜三甲基氯化锡,二甲胺置于正丁基锂体系中,用 正己烷 作为反应溶剂,化学反应 14.0H,反应生成 (二甲基氨基)三甲基锡
参考文献: Organometallic Compounds And Methods For The Deposition Of High Purity Tin Oxide[fr] Composés Organométalliques Et Procédés De Dépôt D'Oxyde D'étain De Haute Pureté
标题: Organometallic Compounds And Methods For The Deposition Of High Purity Tin Oxide[fr] Composés Organométalliques Et Procédés De Dépôt D'Oxyde D'étain De Haute Pureté
摘要:本文揭示了用于沉积高纯度氧化锡的化合物.还披露了使用这些化合物进行氧化锡薄膜沉积的方法.这些薄膜表现出高一致性,高刻蚀选择性并具有光学透明性.这些化合物的化学式如下:Rx-Sn-A4-X,其中:A选自(Yar'Z)和含有3至7个成员的含氮杂环基团的群;每个r基独立地选自具有1至10个碳原子的烷基或芳基群;每个r'基独立地选自具有1至10个碳原子的烷基,酰基或芳基群;x为0至4的整数;a为0至1的整数;y选自n,O,S和p的群;z为1(当y为o,S或y不存在时)或z为2(当y为n或p时).