CAS: 103457-72-3; Erbium Tris[bis(Trimethylsilyl)Amide]

该化合物是一个高度反应性的同溶性(III)复合体,是有机金属化学和蒸发阶段沉降过程的宝贵前体,特别是含有的薄膜和纳米材料.该化合物的阻塞氨离子增加其挥发性和热稳定性,使之适合用于原子层沉积和化学蒸气沉积(CVD),其低熔点和非极溶剂溶性进一步促进其用于溶液阶段合成.该前体有利于其高纯度和受控的再活动,从而能够精确地将纳入先进材料和电子装置.

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