CAS: 36830-74-7; Bis(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Strontium Hydrate

该化合物是一种金属-有机化合物,主要用作化学蒸气沉降(CVD) 和原子层沉积(ALD) 过程中的前体,其主要优点包括高度挥发性,热稳定性和连续分解行为,使之适合于在先进材料和电子应用中储存含有的薄膜. 化合物的铬结构确保了受控的再活动,使精确的胶片得以测量和统一. 聚苯-DPM在生产无氧氧化物,超导体和电离电层方面特别受重视,这些生产中纯度和沉积效率至关重要. 它与工业级过程的兼容性进一步增强了其在半导体和光电子装置制造中的效用.

结构式图片

合成工艺路线路线简述

    📜2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮,氢化锶 以 甲苯作为反应溶剂,获得 2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heotanedionatestrontium
    参考文献:Raw Material For Forming A Strontium-Containing Thin Film And Process For Preparing The Raw Material
    标题:Raw Material For Forming A Strontium-Containing Thin Film And Process For Preparing The Raw Material
    摘要:本发明提供了一种用于形成环戊二烯基锶化合物的含锶薄膜的原料,该化合物在室温至50°c时处于液态,可通过蒸馏纯化,以单体形式存在,具有高蒸汽压,适合大规模生产,以及制备该原料的方法.通过将na[C5(Ch3)4(C3H7)]2或k[C5(Ch3)4(C3H7)]2与sri2在thf中反应制备sr[C5(Ch3)4(C3H7)]2的thf加合物;蒸发thf并用甲苯提取残渣以得到甲苯溶液;蒸发甲苯并在减压下干燥残渣;在真空中加热至100至160°c以解离和去除thf并进行蒸馏.

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